清浄度クラス（ISOクラス）：クラス3に対応

〇クリーンシリーズ10- Series

・クリーン環境に対応。
・クリーンルーム内への発塵を防止。

・クリーンシリーズよりもクリーン度向上を追求。
・クリーン環境での使用を前提に構造、材質、組み付け環境等を考慮のうえ開発した製品シリーズです。

〇銅・フッ素・シリコン系不可＋低発塵21- Series

・銅系、フッ素系、シリコン系材質(注1）の規制のある環境に対応。
・構造はクリーンシリーズと同等（グリース、包装形態はクリーンシリーズと異なります。）

注1）シリコン系材質とは、シリコン（ケイ素）を多く含む高分子化合物であり、シロキサン結合を持つ“シリコーン”が代表例である。

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